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產(chǎn)品名稱: GV400愛德華干泵維修簡要描述: 東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務。 維修流程完善,長期備有原廠維修配件,為客戶提供優(yōu)質的服務!我們將按GV400愛德華干泵維修流程,為客戶保證維修之設備的質量更新時間: 2023-09-15瀏覽次數(shù): 2780
產(chǎn)品介紹
品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果,壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務
GV400愛德華干泵維修流程
(1)擦凈零件,疏通油孔 。
(2)把旋片及彈簧裝入高級轉子槽內后,把高級轉子裝入泵身內,裝上高級泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等,用手旋轉,應無滯阻和明顯輕重。
(3)低級轉子裝配同上。
(4)裝止回閥葉輪部件,應使止回閥平面對準進油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉轉子,油孔應時開時閉,調整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。
(5)裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。
(6)把泵部件、鍵、軸套、電機裝在支座上。
(7)裝油箱。
(8)插入進氣咀、氣鎮(zhèn)閥、裝上壓板,螺釘緊固。
注意:
(1)裝配時,各摩擦面應涂上清潔的真空泵油。
(2)記住零件的原裝配位置,可減少跑合時間。
(3)緊固體應無松動,緊固時應均勻施力。
(4)對磨損零件應檢查,并酌情修理或調換。
(5)總裝結束后,可以從泵進氣口加入少量泵油,然后用手轉動,轉動時,手的感覺應是阻力均勻,無明顯阻滯現(xiàn)象。
我們將按GV400愛德華干泵維修流程,為客戶保證維修之設備的質量
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